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上海衍梓智能科技有限公司于2020年在上海成立,是一家创新型研发公司,专注于半导体CVD设备的研发设计及制造。 衍梓智能现有多系列的半导体CVD设备面向国内半导体制造厂 (硅片、晶圆) 市场推广、销售。通过核心设备制造,以及制造工艺改造(硬件+软件解决方案),帮助客户提高产能、良率、一致性等一系列生产关键指标。 衍梓智能当前也在积极布局自动化设备 (主要是机器人方向) 、数字化工厂决策平台系统等产品研发。
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